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刘泽文
特聘教授、博导
联系电话：
电子邮箱：liuzw@bici.org, liuzw@tsinghua.edu.cn
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教授，博士生导师，安徽肥东人，本科毕业于中国科学技术大学。 1997年法国巴黎第十一大学博士毕业后回国工作。曾任清华大学微电子所微纳器件与系统研究室副主任，微电子学研究所副所长等职。中国电子学会和中国微纳技术学会高级会员，多次担任自然科学基金, 国家重大专项和自然科学奖评审专家。曾经获得清华大学优秀教师，清华大学优秀博士生导师等称号。在国内外学术期刊和会议上发表学术论文100多篇，拥有发明专利30多项。
研究方向：半导体（含集成电路、高端芯片），传感器
研究重点：射频MEMS；氮化镓MEMS传感器及电路系统；硅基纳米孔技术及其在生物和能源系统中的应用
招生需求：希望招收集成电路科学与技术、电子信息技术、精密仪器和控制技术等背景的学生。
参考资料：https://www.ime.tsinghua.edu.cn/info/1015/1152.htm
