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夏洋
特聘教授、博导
联系电话:
电子邮箱:xiay@bici.org

【教育经历】
1979-1983 北京大学物理系,获理学学士
1987-1990 北京科技大学材料物理系,师从柯俊院士,获工学硕士学位
1995-1998 北京科技大学材料物理系,师从肖纪美院士,获工学博士学位
【工作经历】
1990-1995 北京航空材料新人开户绑卡送18,从事快速凝固铝合金研究,应用于火箭推进,获航空部三等奖。
1998至今 中科院微电子所,二级研究员,博士生导师,中国科学院大学A级教授,获得国务院特殊津贴。
2022至今 京津冀国家技术创新中心,光电技术研究所,研究员。
【成果及荣誉】
获北京市科技进步一等奖、中国电子学会一等奖、中科院教育教学成果特等奖。
主持了国家重大专项“新原理集成装备”,基金委重大科学仪器等项目,研发了变电场原子层沉积、吸附反应外延、超高真空材料制备原位分析仪器等装备并成功实现产业转化,其中多项成果应用到中国科学院、清华、北大、中芯国际、北方华创等相关单位,支撑了我国集成电路、量子科技、精密探测等前沿技术发展。研发了全套集成电路产教融合仪器,编写了配套教材,成果在中国科学院大学、厦门大学、复旦大学、华中科技大学、中山大学等高校推广应用。

研究方向:半导体(含集成电路、高端芯片)
研究重点:
1. 集成电路装备;
2. 集成电路工艺技术;
3. 集成电路基础科学
招生需求:目前研究项目为“基于二维材料下一代集成电路装备研发”。从事曝光机、ICP刻蚀机、原子层刻蚀ALE、 PECVD、PVD、ALD、PEALD、cluster薄膜集成系统、二维材料及纳米量子器件制备系统、科教融合集成电路设备等仪器装备研究。希望招收集成电路制造、材料、物理、机电一体化背景学生。

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