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北京大学计算机系微电子专业学士、硕士，北京大学信息科学与技术学院微纳电子学系博士。先后主持国家自然科学基金面上、973、863、重大专项、其他类型等国家级和省部级项目10余项。主持开发了表面牺牲层技术等MEMS加工工艺，应用于微米纳米加工技术国家级重点实验室；主持了新型化学传感器，电容式、谐振式和隧穿式等MEMS器件的开发。获国家发明二等奖、北京市科技进步一等奖1项，教育部科技进步一等奖2项，享有国务院政府津贴。发表文章100余篇，获专利20余项，合作出版教材1部。

研究方向：半导体（含集成电路、高端芯片）
研究重点：表面牺牲层技术；电容式、谐振式和隧穿式等MEMS器件
招生需求：具有机械电子工程、电子科学与技术及信号与信息处理等学科背景；具有微机电系统研制经验，了解机械加工与设计、掌握控制及信号处理电路的设计及编程。