博士,中国科学院微电子研究所研究员,博士生导师,北京协同创新师新人开户绑卡送18智能制造研究所高级创新师。
1983年-1987年在江西师范大学任教,负责近代物理实验室建设和教学工作。
1990年-1994年在北京航空材料新人开户绑卡送18工作,从事快速凝固铝合金、金属基复合材料研制工作。1998年-至今,在中科院微电子研制所工作,从事超大规模集成电路研究,研究员,博士生导师。2002年兼任科技处处长,负责微电子所科研、开发和质量管理。2004年兼任所长助理。
2002年-2005年任两届国家自然基金委信息科学部专家
2002年-2004年曾任国家973咨询专家组专家(已换届),中国电子学会半导体及集成技术分会副秘书长。
2022年8月-至今在新人开户绑卡送18智能制造研究所高级创新师。
研究方向:微电子工艺及装备
承担科研项目情况:
1990-1994年完成快速凝固高强铝锌合金,快速凝固中强低密度铝锂合金,快速凝固中强耐高温铝铁合金系列研究,为航空材料的应用提供了新的体系。首次提出复合型粉末高性能阻尼铝合金功能材料。
1995-1998年在国内首次完成实用型磁阻式计算机硬盘读出头的研制,同时利用MEF观测到微细软磁磁畴的精细结构。
1998年至今,作为主要参加人完成超大规模集成电路关键工艺研究(0.25微米),高性能栅长27纳米CMOS器件及关键工艺技术研究,获北京市科学技术一等奖,国家发明二等奖。作为负责人完成国家自然基金重点项目“ULSI中铜互连技术研究”,为我国首次自主研究铜互连技术。完成国家973项目“磁性存储器研究”,现为“下一代高清晰度平板显示基础研究”的课题负责人,”特种功率器件”项目首席专家,自然基金重点项目”等离子体注入机” 负责人。
获奖及荣誉:航空部科技进步三等奖一项、北京市发明一等奖一项。